【产品ID号】：766

【产品编号】：SJ-QT-10240

【中文名称】：砷烷标准气体

【英文名称】：Arsenane standard gas

【气体浓度】：99.99%（可定制）

【产品规格】：2L、4L、8L（含瓶）

【平衡气体】：砷烷

【不确定度】：U=2%，k=2

【保质期限】：12个月

【保存条件】：使用和贮存仅可在通风的气瓶柜、排风柜或有强制通风的房间内。由于它与空气混合可形成爆炸混合气，因此应远离热源和火源。

【应用领域】：砷烷用于半导体工业中外延硅的“N”型掺杂，硅中“N”型扩散，离子注入，生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/V族元素形成的化合物半导体。工业上生产的砷烷用于有机合成。

【注意事项】：砷烷无腐蚀性，因此大部分市售材料均可用。但是，由于砷烷主要用于半导体工业，因此推荐采用不锈钢材质。在高纯系统中要用不锈钢减压器。