【产品ID号】:768
【产品编号】:SJ-QT-10242
【中文名称】:磷烷标准气体
【英文名称】:Phosphane standard gas
【气体浓度】:99.99%(可定制)
【产品规格】:2L、4L、8L(含瓶)
【平衡气体】:磷烷
【不确定度】:U=2%,k=2
【保质期限】:12个月
【保存条件】:储存于阴凉、通风的库房。库温不宜超过30℃。储区应备有泄漏应急处理设备。
【应用领域】:在电子气家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷应用量较大,是IC制造极为重要的原料。其中的磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源,同时磷烷还用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注人工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃(PSG)钝化膜制备等工艺中。
【注意事项】:密闭操作。密闭操作,提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员穿防寒服,戴防寒手套。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。