【产品ID号】:756
【产品编号】:SJ-QT-10230
【中文名称】:砷化三氢标准气体
【英文名称】:Trihydrogen arsenide standard gas
【气体浓度】:99.99%(可定制)
【产品规格】:2L、4L、8L(含瓶)
【平衡气体】:砷化三氢
【不确定度】:U=2%,k=2
【保质期限】:12个月
【保存条件】:储存于阴凉、通风的库房。库温不宜超过30℃。储区应备有泄漏应急处理设备。
【应用领域】:砷化氢(化学式:AsH3)又称砷化三氢、砷烷、胂。砷烷用于半导体工业中外延硅的n型掺杂;硅中n型扩散;离子注入;生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与III/V族元素形成化合物半导体。
【注意事项】:密闭操作。密闭操作,提供良好的自然通风条件。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员穿防寒服,戴防寒手套。防止气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。