【产品ID号】：386

【产品编号】：GBW(E)062028

【中文名称】：高纯硅烷标准气体

【英文名称】：High purity silane standard gas

【气体浓度】：99.995%

【产品规格】：4L、含气含瓶

【平衡气体】：高纯硅烷

【不确定度】：0.50%

【保质期限】：12个月

【保存条件】：在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储。钢瓶应直立摆放。且保持保护性阀盖和输出阀的密封完好。

【应用领域】：主要三氯氢硅法(西门子法)、非晶半导体非晶硅、半导体微电子、硅化物( Si3N4 , SiC等) 微粉。

【注意事项】：系统温度不可低于－170℉ (－112℃)，否则可能会吸入空气形成爆炸性混合物。